Εξαχνωτής με δέσμη ηλεκτρονίων (e-beam) και Θερμικός Εξαχνωτής για Μέταλλα
Το πρώτο σύστημα εξαχνωτή θα χρησιμοποιηθεί για την εναπόθεση μετάλλων. Θα χρησιμοποιηθούν δύο πηγές εξάχνωσης, μία πηγή με δέσμη ηλεκτρονίων (e-beam) με πολλαπλούς θύλακες και μία θερμική πηγή. Το σύστημα θα χρησιμοποιηθεί για την εξάχνωση μεμονωμένων υμενίων, στρωμάτων πολλαπλών υμενίων και κραμάτων. Απαιτείται υψηλή ηλεκτρική αγωγιμότητα και καθαρότητα εναποτιθέμενων μετάλλων.
Μερικά βασικά χαρακτηριστικά του συστήματος:
- Μεμονωμένα στρώματα μετάλλων: Al, Au, Pt, Pd, Ag, Ti, Cr, Ru, Ni, Co.
- Συνεναπόθεση μετάλλων για κράματα όπως το FeNi.
- Πάχη από 5-500nm σε μία μόνο διαδρομή ανάπτυξης. Ομοιομορφία τουλάχιστον ±7% σε υπόστρωμα 8 ιντσών.
- Βασική πίεση καλύτερη από 7×10-7 Torr.
