Η Νέα Υποδομή Αντιδραστήρας Εγχάραξης με πλάσμα Ακρίβειας Ατομικού στρώματος Περισσότερες πληροφορίες Εξαχνωτής με δέσμη ηλεκτρονίων (e-beam) και Θερμικός Εξαχνωτής για Μέταλλα Περισσότερες πληροφορίες Εξαχνωτής Χαμηλής Θερμοκρασίας για Ευαίσθητα στη Θερμοκρασία Υλικά και Θερμικός Εξαχνωτής για Μέταλλα Περισσότερες πληροφορίες Γεννήτρια N2 και λοιπός Υποστηρικτικός Εξοπλισμός Περισσότερες πληροφορίες
